当前位置:> 一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法
一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法

价格:面议 万元

合作方式: 技术转让 

专利(申请号):

行业分类:

专利信息 Patent information

专利名称:一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法

专利类型:

专利类别:

申请号/专利号:

专利权人:浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司

公开(公告)号:

申请日:

授权日:

行业分类:

IPC分类: 一级    二级    三级 

法律状态:

意向价格:面议 万元

权属人所属地域: 省    市    区 

是否有PCT:

信息有效期:

专利摘要:

本发明公开了一种电压分段式的玻璃基掩埋式光波导连续生产方法。放置隧道式高温炉,隧道式高温炉内有传送带和坩埚,传送带将坩埚从隧道式高温炉的进口端输送入隧道式高温炉,经高温离子迁移反应后输送至隧道式高温炉的出口端。隧道式高温炉设置有通过绝缘性滑轨接头连接的多段正电极滑轨组成正电极滑竿和负电极滑轨,坩埚在从隧道式高温炉进口端到出口端运输的过程中,玻璃基片两侧的电极引线分别在正电极滑竿和负电极滑轨上滑动,多段正电极滑轨依次可对玻璃基片施加电压。本发明可提高光波导芯片质量、提高生产效率、降低能耗的基础上,还可以减小掩埋式光波导制作过程中直流电场产生的焦耳热效应带来的不利影响。
  • 项目图片(
  • 项目附件(
相关需求推荐更多>>
  • 暂无数据
相关专家推荐更多>>
  • 暂无数据
相关企业推荐更多>>
  • 暂无数据

欢迎您访问中国建筑材料工业规划院新材料科技创新服务平台,您可以拨打以下电话咨询。谢谢!

联系电话:010-62214044 X
免责声明:此信息由申请发布者提供,所涉及的全部信息(包括图片等)仅供参考。本网站不保证此信息完全真实、有效,也不构成任何建议。如果展示信息侵犯了您的知识产权或者其他合法权益,请您联系我们进行处理,电话:010-62214044。